用激光蒸（zhēng）發（fā）樣品後，激光切割加工的輻射可以直接用（yòng）於光譜分析，但光譜的質最卻比（bǐ）傳（chuán）統的光源要差，因此（cǐ），一般是分（fèn）兩步來進行的，第一（yī）步用激光蒸發樣（yàng）品，第（dì）二步（bù）用火花放電或無電極高頻放電激發蒸汽激光在發射光譜

        用激光蒸發樣品後，激（jī）光切割加工的輻射可以直接用於光譜分（fèn）析，但光譜（pǔ）的質最卻比傳統的（de）光源要差，因此，一般是（shì）分兩步來進行的，第一步用（yòng）激光蒸發（fā）樣品（pǐn），第二步用火花放電或無電極高（gāo）頻放電（diàn）激發蒸汽激光在發射光譜學中應用得最好和最有成效的就是（shì）激光微區光譜（pǔ）儀。

        激光切割加工是應用（yòng）顯微聚能光學係統將激光束（一般在兆瓦量級）會聚在（zài）被分析（xī）試樣約一個微小區域（10微米至300微米）內，使之在（zài）高（gāo）能激（jī）發下汽化成煙羽（yǔ）狀的氣團（tuán），當氣團通過（guò）上方處於臨界放電（diàn）狀態的輔助電極時，再受到放電（diàn）激發產生強光，然後用光譜（pǔ）儀進（jìn）行試樣分析。激光微（wēi）區光譜分析有以下優點，分析速度快（一次激光激發的時間為亳秒量級到毫微秒量級），分析靈敏度高（絕對靈敏度10-6到10-12克，相對靈敏度0001%到0.1%）。
        需要的樣品少（一般為（wéi）微克量級），分析的區域小（一（yī）般（bān）為10微（wēi）米到（dào）幾百個微米），因此不破壞樣品的完整性，能進行幾乎無損的分析。不需要預先處（chù）理即可對導體、非導體（tǐ）透明體、非透明體、金屬、礦物、有（yǒu）機物、生物樣（yàng）品等進行分析.
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